在一般情况下,气体质量流量控制器是以sccm和slm表示;s表示stand,指标准状况下;Cc指毫升;1指升,m表示minute,指扮钟。这就意味着在不同的使用条件下,指示的流量全都是标准状态下的流量。标准状态规定为:气钰一101325Pa;温度一0°C。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm、slm不同于mL/min、/min的地方。而对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯、也便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数,可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干sIm)即可实现。所以说在标准状态下的体积流量其实就等同于质量流量。气体质量流量控制器的主要优点有精确地定量控制流量。陕西M3030VA气体质量流量控制器厂家
气体质量流量控制器是一个可以手动设定或者是和电脑连接自动控制的气体稳流装置,可以在比较宽的量程范围内快速而精确的控制气体流量,即使系统压力有波动或者是环境温度有轻微变化,也不会影响气体质量流量控制器的正常工作,原则上是不需要温度和压力补偿的,气体质量流量控制器(MFC)在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保以及真空等多种领域的科研和生产中有着十分重要的应用。陕西M3030VA气体质量流量控制器厂家气体质量流量控制器可应用于制气配气行业。
气体质量流量控制器的主要优点(1)精确地定量控制流量。质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。(2)适用范围宽。有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品较小流量范围可达0~5sccm,较大流量范围可达0~200slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~100%(量程比为--50:1),因此在很多领域得到应用。
气体质量流量控制器在镀膜、半导体、石油石化、煤炭冶金、制气配气等各种仪器测量分析中起到重要应用。热式原理,响应快,精度高。管状分流,不易堵塞。适用于各种低压和高压管道。预热时间短,零漂小,可靠性高。数字易输入/输出,可使用流量计算机控制或显示流量。气体质量流量控制器由质量流量传感器,层流分层件,气体质量流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成,利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。气体质量流量控制器可应用于泄露监测。
数字型热式气体质量流量控制器主要优点为响应速度快,流量稳定,兼并数字和模拟2种通讯方式,不用通过软件,即可切换通讯信号,可以直接联系电脑使用,非常方便多台流量控制器并联使用。数字型的热式气体质量流量控制器可以直接测量介质的质量并且本体显示累计流量和瞬时流量,只需在彩色的本体显示屏上设置操作,就可以了,无需借助其他任何软件程序或数显仪表,数字型的热式气体质量流量控制器在各大高校实验室和科研单位中,被经常使用。不同的工艺气体,分子大小不同、化学特性不同,使用同规格的气体质量流量控制器会存在流量误差和安全隐患。陕西M3030VA气体质量流量控制器厂家
气体质量流量控制器高压条件下正常使用需要注意在MFC下游加背压阀,稳定反应室和MFC出口的气压。陕西M3030VA气体质量流量控制器厂家
气体质量流量控制器的自我诊断技术是在气体质量流量控制器不停机或者是基本不拆机的情况下,通过各种检测分析来判断气体质量流量控制器的状态是否正常,异常或故障的原因、部位、程度以及寿命的预测。自我诊断技术的主要作用是获得设备的结果状态信息,即根据设备在各种工况下,表现出来的精度超差,零点漂移,内漏等所有状态信息的综合分析来识别产品的状态、异常类型和异常的严重程度,其本质是一个包含信号采集、信息提取、信息综合、故障识别和信息利用的过程。陕西M3030VA气体质量流量控制器厂家